進(jìn)口探針臺是指應(yīng)用于晶圓制造完成后至封裝之前的晶圓測試環(huán)節(jié)的一種半導(dǎo)體測試設(shè)備，起到晶圓輸送與定位的作用，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片的電、光參數(shù)檢測。

　　探針臺的操作流程主要可以分為晶圓移動、定位探針卡、載片對針等。在完成晶圓測試后，探針臺將記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片，并在進(jìn)入后續(xù)工序前予以剔除，以保障產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性，降低器件產(chǎn)品的制造成本。

　　進(jìn)口探針臺常見的分類標(biāo)準(zhǔn)包括按操作方式分類、按功能分類、按晶圓尺寸分類等，其中按操作方式可以分為手動、半自動以及自動，按功能可以分為高低溫、射頻、LCD平板、霍爾效應(yīng)、表面電阻率等，按晶圓尺寸可以分為8英寸、12英寸等。

　　探針卡主要由PCB、中介層、探針頭和探針構(gòu)成。PCB線路層數(shù)因探針數(shù)量的增多而增多，因此需要有很好的抗干擾特性，以保證電信號不被噪音影響。中介層在探針卡中起到線路放大的作用，探針Pitch通常在80um，部分產(chǎn)品Pitch可達(dá)50um，因而無法直接與PCB連接，需要通過中介層將探針對外連接的線路放大進(jìn)而實(shí)現(xiàn)和PCB的連接。探針頭主要用于固定探針。

　　進(jìn)口探針臺測試座主要由探針、浮動板、后蓋等材料組裝集合而成；測試座的技術(shù)壁壘極低，國內(nèi)廠商主要是華南地區(qū)的低端電子零部件制造商；測試座按照不同的被測產(chǎn)品可以分為：USB測試座、CMOS模組測試座、RF射頻測試夾具、老化測試座、SD測試座等。