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牛津電子束鍍膜機(jī)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜

VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國(guó)牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。 通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱(chēng)為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。可蒸發(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國(guó)牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。

原子層沉積系統(tǒng)，包括：傳統(tǒng)的熱原子層沉積系統(tǒng)（TALD）、等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)（PEALD）、粉末樣品的原子層沉積系統(tǒng)（Power-ALD）。